20年干式真空泵研发制造经验
20 years of experience in the research and manufacturing of dry vacuum pumps
pump Scrubber Chiller
研发
—— 服务范围 ——
NEWS & INFORMATION
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专注于半导体核心附属设备研发、生产与服务
微特科(无锡) 半导体设备有限公司(简称VTEco)是一家引进韩国顶级技术专注于半导体核心设备研发、生产与服务的创新型高科技企业。公司英文名称“VTEco”蕴含三大核心业务板块:
· V: 真空泵业务板块,提供高精度、高稳定性的真空系统解决方案;
· T: 温度控制设备(Chiller)业务板块,为半导体制造工艺提供精准温控技术;
· E: 尾气处理器(Scrubber)业务板块,提供一揽子半导体行业高效环保的尾气处理系统解决方案。
公司依托韩国顶级半导体设备设计研发团队的技术支持,在无锡建立先进的生产基地,实现核心技术本土化落地。凭借卓越的产品性能与便捷的本地化服务优势,VTEcO为全球半导体产业链客户提供高可靠性设备,覆盖晶圆制造、封装测试等关键环节,助力客户提升生产效能与绿色可持续发展。
—— 关于我们 ——
About Us
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专注于半导体核心附属设备研发、生产与服务的创新型高科技企业
—— 产品展示 ——
Product Display
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专注于半导体核心附属设备研发、生产与服务
产品具备卓越运行性能，真空泵可长期稳定运转且节能低耗；Scrubber 废气处理效率≥99%，平均故障间隔时间（MTBF）＞6000 小时，平均修复时间（MTTR）＜1 小时；Chiller 温控精度达 ±0.1℃，可适应动态负载波动，同时产品节能设计能有效降低客户运行成本。
高可靠低能耗
领先技术实力
引进韩国资深研发团队的成熟技术，拥有 15 年半导体附属设备研发经验，核心技术实现本土化落地，核心知识产权自主可控。
公司产品覆盖干式真空泵（pump）、温度控制（Chiller）、尾气处理（Scrubber）三大核心领域，真空泵可适配洁净、一般及苛刻半导体工艺，Scrubber 可处理可燃性、水溶性、PFCs 等全品类气体，Chiller 可实现 -20℃至90℃多区间精准温控，一站式满足半导体晶圆制造、封装测试等全流程设备需求。
聚焦附属设备
韩国合作公司曾服务三星、海力士等头部半导体企业，累计交付Scrubber设备超1000台、Chiller设备超5000台，拥有半导体行业附属设备丰富的应用验证；15 年研发制造经验，对各类工艺废气处理、真空环境搭建、精准温控有成熟的技术方案与实践案例。
丰富行业经验
工厂管理符合 ISO9001、ISO14001、ISO45001 认证体系，产品通过 CE、SEMI S2/S8 等行业认证；产品兼具环保属性，能助力客户实现绿色低碳生产，契合行业可持续发展要求。
环保合规能力
在无锡、山东、成都布局三大研发与服务基地，实现核心技术本土化生产与快速响应；提供定制化本地服务及便捷售后维护，可缩短设备维护周期与停机时间，为客户生产连续性提供坚实保障。
快速响应服务
—— 制造能力 ——
corporate strength
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专注于半导体核心附属设备研发、生产与服务
无锡工厂
韩国螺杆转子加工专机
韩国DOOSAN（斗山）数控车床
日本TSUGAMI（津上）数控磨床
日本Mazak卧式加工中心
性能测试
韩国DOOSAN立式加工中心
德国SCHENCK（申克）数控平衡机
—— 制造能力 ——
corporate strength
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专注于半导体核心附属设备研发、生产与服务
—— 新闻动态 ——
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